原标题:沙利文2023中国半导体石英坩埚行业市场独立研究报告15页(附下载)
今天分享的是半导体石英坩埚系列深度研究报告:《沙利文2023中国半导体石英坩埚行业市场独立研究报告15页》。(报告出品方:沙利文)
石英坩埚(QuartzCrucible,QC)是石英玻璃制品中的细分产品,由高纯石英砂,通过模具定型,使用电弧法高温制作而成,具有耐高温、使用时间长、高纯度等特点,石英坩埚大多数都用在半导体高纯单晶硅棒的拉制的辅助性耗材,是单晶硅棒拉制过程中用于盛装熔融硅液的关键一次性消耗品。根据单晶硅棒的下游应用场景可将石英坩埚分为半导体单晶硅生长用石英坩埚(半导体石英坩埚)与光伏单晶硅生长用石英坩埚(光伏石英坩埚)。
石英坩埚的构造分为不透明层、真空透明层及内涂层。不透明层通常由天然石英砂制成,内部含有大量均匀分布气泡,有保持温度效果,可使石英坩埚均匀受热。真空透明层通常由天然石英砂制成,内部不含气泡且均匀致密,具有抗变形以及隔绝硅液与气泡层的作用。内涂层通常由高纯合成石英砂、高纯天然石英砂或普通石英砂制成,半导体石英坩埚对内涂层的石英砂的原料成分要求比较高,石英砂杂质元素含量决定了石英坩埚的拉晶质量。
半导体石英坩埚及光伏石英坩埚的生产均遵循相同工艺流程:首先经过利用离心力和成型装置,将石英砂原料在旋转的石英坩埚模具内形成一定形状和厚度,以高温电弧为热源,对石英坩埚模具内的石英砂原料进行高温熔制,熔制结束后取出石英坩埚毛坯。将石英坩埚端口朝下放置于作业平台,利用研磨设备或各类喷砂设备去除石英坩埚外表面的附砂,使用切边倒棱设备对中装置对石英坩埚进行校正后按照高度要求用切断装置对石英坩埚进行切断,再根据相关要求利用内、外倒角装置,对石英坩埚切断端面进行倒角处理。切边倒棱完成后将石英坩埚放置于化学洗涤专用设备内,按相应工艺参数要求对石英坩埚内、外表面及端口进行化学洗涤,后将石英坩埚放置于干燥设备内,按要求对石英坩埚内、外表面及端口残留水分进行汽化挥发。干燥完成后可按照每个客户需求,按相应工艺参数要求,将配比好的专用(或客户指定的)材料涂覆在石英坩埚内表面和(或)外表面上。最后用洁净的防静电塑料袋将成品密封包装,附以合格证,将完成内包装的石英坩埚放入内嵌缓冲保护设施的无钉纸箱内,并将石英坩埚信息标签粘贴在纸箱的固定标识位置。
在石英坩埚生产的全部过程中应当编制各工序工艺文件、作业指导书,并对工艺参数和生产的全部过程要求做规定,在生产的全部过程中,应当配备满足相应要求的各项资源,保证生产的全部过程按要求达成;对出现的不正常的情况需做多元化的分析评价,采取纠正及预防的方法,并持续改进。